1100C Vakuumkammerofen VBF-1200X-H8 Beschreibung
Der1100C-Vakuumkammerofen verwendet einen Widerstandsdraht als Heizelement, eine doppelschichtige Mantelstruktur und eine 50-stufige programmierbare Temperaturregelung mit K-Typ-Thermoelement. Der Ofen ist aus hochreinem Aluminiumoxid-Fasermaterial hergestellt. Die maximale Temperatur kann 1100 Grad erreichen. Er kann kontinuierlich bei einer Temperatur von 1000 Grad betrieben werden und hat eine Temperaturregelungsgenauigkeit von ±1 Grad. Die Vorteile des Ofens sind ein gleichmäßiges Temperaturfeld, eine niedrige Oberflächentemperatur, ein schneller Temperaturanstieg und -abfall sowie Energieeinsparung.
1100C Vakuumkammerofen VBF-1200X-H8 Spezifikationen
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Heizrate
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- Max. 20℃/ min
- Empfohlen. 10℃/ min
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Heizelemente
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- Hochwertiger Ni-Cr-Al-Widerstandsdraht
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Leistung
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- Spannung: Einphasig 208 - 240 VAC / 50/60Hz
- 4 KW max.
- Hinweis: Stromkabel im Lieferumfang enthalten, jedoch ohne Stecker. Bitte installieren Sie selbst einen Stecker.
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Arbeitstemperatur
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- <= 1000 ℃ kontinuierlich
- Max. 1100 ℃, < 30 Minuten
- Temperatur Gleichmäßigkeit: +/- 1℃
- Hinweis: <= 1150 ℃ kontinuierlich ist auf Anfrage mit Quarzrohr der Qualität GE214 zu den zusätzlichen Kosten erhältlich
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Quarzrohr & Effektive Heizung
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- Rohrgröße: 8" O.D. x 7.5" I.D. x 13.4" L.
- Heizbereich: 7.5" ID x 8.5" Tiefe (7.6Liter)
- Gleichmäßige Temperaturzone: 6 "Dia x 3.5" Tiefe in der mittleren Position innerhalb +/- 5℃
- Das Quarzrohr ist austauschbar.
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Gaseinlass und -auslass & Wasserkühlung
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- Ein Gaseinlass mit Ventil auf der linken Seite des Ofens (1/4"-Schlauchadapter)
- Durch den Einlass kann Inertgas zur Spülung in die Kammer eingeleitet werden.
- Wenn ein kontinuierlicher Gasfluss erforderlich ist, beachten Sie die zusätzlichen Gaseinlässe und Thermoelement-Sonden weiter unten.
- Ein Wasserkühlungsmantel im Inneren des Flansches zum Schutz des vakuumdichtenden O-Rings. Der Einlass und der Auslass auf der linken Seite des Ofens sind für den Anschluss an das Kühlgerät über zwei Anschlüsse mit einem Durchmesser von 12 mm vorgesehen. Polyurethan-Rohr (erfordert 16 l/min Wasserdurchfluss).
- Heiztemperaturen über 500℃ erfordern einen Kühler (Thermoblock wird eingesetzt)
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Temperaturregler
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- Ein NRTL-zertifizierter digitaler Temperaturregler ist im Lieferumfang enthalten.
- Proportional-Integral-Differenzial-Regelung (PID-Regelung) und Selbstoptimierungsfunktion
- 30-Segment-Programmierung mit Rampen-, Abkühl- und Verweilstufen
- Eingebauter Übertemperaturalarm und Alarm bei Ausfall eines Thermoelements
- +/-1℃ Genauigkeit der Temperaturregelung
- Enthält standardmäßig einen DB9 PC-Kommunikationsanschluss für den Anschluss an einen PC
- Der Eurotherm Temperaturregler ist gegen Aufpreis erhältlich und hat eine Genauigkeit von +/-0,1℃.
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Optionen
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- Der Probenhalter ist nicht im Lieferumfang des Ofens enthalten.
- Sie können ein Quarz-Wafer-Boot bestellen, um Wafer bis zu 6" zu glühen.
- Der optionale Quarz-Thermoblock ist auf Anfrage als feuerfester Block erhältlich, der dazu beitragen kann, ein höheres Vakuum zu erreichen und mögliche Kontaminationsprobleme zu vermeiden; bitte bestellen Sie den Quarz-Thermoblock.
- Ein 1/4"-Aluminiumoxidrohr mit 4 Löchern kann verwendet werden, um 4 Drähte (z.B. Pt-Drähte) durch die Löcher einzuführen und die elektrischen Eigenschaften bei hohen Temperaturen zu messen (gegen Aufpreis).
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Garantie
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- Ein Jahr beschränkte Garantie mit lebenslangem Support
- ACHTUNG: Schäden, die durch die Verwendung von korrosiven und sauren Gasen verursacht werden, fallen nicht unter die einjährige eingeschränkte Garantie von SAM.
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Konformität
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- CE-zertifiziert
- NRTL- oder CSA-Zertifizierung ist auf Anfrage und gegen Aufpreis erhältlich.
- Patten Nummer: ZL-2011-2-0102249.4 SINCE 2011-5-19
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Vakuumkammerofen 1100C VBF-1200X-H8 Anwendungen
Der Vakuumkammerofen1100C ist für das Kalzinieren oder Ausglühen von Halbleiterwafern (bis zu 6") unter Vakuum oder verschiedenen anderen Gasatmosphären mit einer Temperatur von bis zu 1100℃ ausgelegt. Er kann auch als Vakuumlötofen verwendet werden.
1100C-Vakuum-Kammerofen VBF-1200X-H8 Verpackung
Unser 1100C-Vakuumkammerofen VBF-1200X-H8 wird während der Lagerung und des Transports sorgfältig behandelt, um die Qualität unseres Produkts in seinem ursprünglichen Zustand zu erhalten.
