IF5884 (Abgesetzt) 1500C 8-Kanal-Rohrofen GSL-1500X-MGI-8

Aufbau des Ofens

• Der Ofen besteht aus 8 Rohrofenmodulen mit Quarzrohr 50 O.D x 40 I.D x 552 L (mm)
• Jedes Heizmodul ist durch Isoliermaterial mit einer Luftkühlungsschicht getrennt
• Die Temperatur jedes Heizmoduls wird unabhängig voneinander auf bis zu 1500°C geregelt
• Schnellverschlussflansch, Vakuummeter und Durchflussmesser sind mit 8 unabhängigen Luftein- und -auslässen auf beiden Seiten des Ofens installiert, so dass jeder Kanal in einer Vakuum- oder Schutzatmosphäre wärmebehandelt werden kann.
• Verarbeitung von 8 Proben mit unterschiedlichen Temperaturen auf kleinstem Raum

Heizelement

Siliziumkarbid

Leistung

18 KW, 208-240VAC, zwei Phasen, 50/60Hz

Arbeitstemp.

• Max. Temperatur: 1500℃ (<30 Min.); 1300 (kontinuierlich)
• Aufheizgeschwindigkeit: ≤10℃/min
• Temperaturgenauigkeit: ±1,0℃

Gassystem und Flansch

• Jeder Kanal hat ein separates Einlass- und Auslasssystem
• KF25-Anschluss für Vakuum
• Auf der linken Seite befinden sich 8 G1/4-Lufteinlässe, 8 Ventile und 8 Schwebekörper-Durchflussmesser (16-160 ml/min) zur Regulierung des Einlassflusses.
• Auf der rechten Seite befinden sich 8 G1/4-Luftauslässe und 4 Durchgangsventile
• 8 Sätze von wassergekühlten, schnellen Flanschsystemen aus Edelstahl
• Der Flansch ist mit einem mechanischen Manometer ausgestattet
• Schnellanschlussflansch und KF25-Anschluss an der Vorderseite für schnellen Probenzugang
• Der hintere Flansch hat einen Lufteinlass und einen Luftauslass, die jeweils mit den Luftein- und -auslassplatten auf beiden Seiten verbunden sind
• Max. Vakuum 10^-2 Torr durch eine mechanische Pumpe und 10^-5 Torr durch eine Turbopumpe

Temperaturregler

• 8-Kanal-Heizröhren werden unabhängig voneinander von einem programmierbaren Temperaturregler mit 30 Segmenten gesteuert
• 8 Thermokupplungen vom Typ S
• PC-Steuerungssoftware wird mitgeliefert, die 8 Kanal-Heizungen über einen Laptop steuern kann

Abmessungen

1540 L x 780 B x 1260 H mm

Gewicht

~500 kg

Garantie

• Ein Jahr beschränkte Garantie mit lebenslangem Support
• Wir behalten uns das Recht vor, die Struktur des Ofens ohne vorherige Ankündigung zu verbessern, um die Leistung zu erhöhen.

Warnung & Hinweise

• Der maximale Druck dieses Ofens beträgt 7,5 PSI (0,5 atm). Ein Druckregler am Gastank ist notwendig, um einen Überdruck zu vermeiden.
• Dieser Ofen kann auch zu einem größeren CVD-Ofensystem mit einem geeigneten Gaszufuhrsystem umgebaut werden. Bitte kontaktieren Sie uns, um Ihre spezielle Anwendung zu besprechen.

Zertifikat

• CE-zertifiziert
• Eine NRTL- oder CSA-Zertifizierung ist gegen Aufpreis erhältlich.