650C Zwei-Zonen-CSS-Ofen für die schnelle thermische Behandlung OTF-1200X-RTP-II Beschreibung
650C Zwei-Zonen-CSS-Ofen für die schnelle thermische Behandlung OTF-1200X-RTP-II ist ein Zwei-Heizzonen-Ofen für die schnelle thermische Behandlung, der mit einem 11" OD Quarzrohr ausgestattet ist. Er ist für die PVD- oder CSS-Filmbeschichtung (Close Sublimation) von Schichten mit einem Durchmesser von 3" oder einem Quadrat von 2 "x2" konzipiert. Der Ofen wird durch zwei Sätze von Halogenheizungen (oben und unten) mit einer maximalen Heiztemperatur von 100 U/min beheizt. Er eignet sich hervorragend für die Untersuchung von Solarzellen-Dünnschichten der neuen Generation wie CdTe-, Sulfid- und Perowskit-Solarzellen. Er kann auch als RTP für das Ausglühen von Dünnschichten verwendet werden.
650C Zwei-Zonen-CSS-Ofen für die schnelle thermische Verarbeitung OTF-1200X-RTP-II Spezifikationen
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Aufbau des Ofens und der Vakuumkammer
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- Zwei Heizelemente, zwei Temperaturregler und Zwei-Kanal-Gasdurchflussmesser sind in einen mobilen Rahmen aus Aluminiumlegierung integriert.
- Die Kammer ist aus hochreinem Quarzglasrohr gefertigt
- Größe des Quarzrohrs: 11" OD/10.8" ID x 9" H
- Kohlefaserfilz als thermische Isolierung
- Die Vakuumflansche sind aus rostfreiem Stahl 316 gefertigt
- Gesamtabmessungen: 850(L)×745(B)×1615(H) mm
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Vakuum-Flansche
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- Der obere Flansch mit einem KFD-25-Vakuumanschluss und zwei Gasauslässen (1/4"-Rohr erforderlich) kann manuell nach oben oder unten geschoben werden, um Substrat und verdampftes Material leicht zu be- und entladen
- Der untere Flansch hat einen KFD-25-Vakuumanschluss mit zwei Gaseinlässen (1/4"-Rohr erforderlich) und Nadelventilen
- Der Flansch ist mit doppelten Silikon-O-Ringen abgedichtet und kann mit einer hochwertigen mechanischen Pumpe einen maximalen Vakuumdruck von 10E-2 Torr und mit einer Molekularpumpe von 10E-5 Torr erreichen
- Ein digitales Präzisionsvakuummeter mit Korrosionsschutz ist im Lieferumfang enthalten
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Heizung und Probenhalterung
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- Zwei kurzwellige IR-Lampen als Heizelemente für schnelles Aufheizen.
- Der Abstand zwischen zwei Heizern ist von 10 - 50 mm einstellbar
- Die Heizelemente sind aus rostfreiem Stahl mit einem wassergekühlten Mantel, um die Wärmeabstrahlung zu reduzieren und eine schnelle Abkühlung zu ermöglichen
- Ein runder 3"-Waferhalter ist in den oberen Heizer eingebaut, um das Substrat zu laden
- Eine hoch wärmeleitende AlN-Platte (3 "Dia x 0,5mm dick) ist im Lieferumfang enthalten, die auf die Rückseite des Substrats gelegt wird, um es gleichmäßig zu erwärmen
- Eine 3"-Graphitplatte kann alternativ für die AIN-Platte verwendet werden.
- Ein Ersatz für das Halogenlicht-Heizgerät ist gegen einen Aufpreis erhältlich.
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Temperaturregler
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- Zwei digitale Präzisions-Temperaturregler mit 30 programmierbaren Segmenten zur unabhängigen Steuerung der oberen und unteren Heizungen
- Jeder Regler verfügt über eine PID-Autotuning-Funktion, um die Heizelemente vor Überschwingen zu schützen, sowie über eine Alarmfunktion zur Vermeidung von Überhitzung und Bruch der thermischen Kopplung
- PC-Kommunikationsschnittstelle und Software sind installiert
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Arbeitstemperatur
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- Höchsttemperatur für jede Heizung: ≤ 650℃
- Die maximale Temperaturdifferenz zwischen zwei Heizungen: ≤ 300℃, abhängig vom Abstand zwischen zwei Heizungen:
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Aufheiz- und Abkühlrate
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- Heizen: < 8℃/s (nur ein Heizgerät)
- Kühlen: < 10℃/s (600 - 100℃) Max.
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Thermisches Paar
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- Zwei Thermoelemente vom Typ K (freiliegend) werden separat an den oberen und unteren Heizelementen installiert.
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Betriebsspannung
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- 208 - 240VAC, einphasig, 20A Luftunterbrecher
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Leistungsanforderung
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- 2200 W insgesamt (1100 W für jede Heizung)
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Garantie
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- Ein Jahr beschränkt mit lebenslanger Unterstützung (Verbrauchsteile wie Quarzröhren und Heizlampen sind von der Garantie ausgeschlossen)
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Konformität
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650C Zwei-Zonen-CSS-Ofen für die schnelle thermische Verarbeitung OTF-1200X-RTP-II Anwendungen
Der650C Zwei-Zonen-CSS-Ofen für die schnelle thermische Verarbeitung OTF-1200X-RTP-II ist ein hervorragendes Gerät für die Untersuchung von Solarzellen-Dünnschichten der neuen Generation wie CdTe-, Sulfid- und Perowskit-Solarzellen. Er kann auch als RTP für das Ausglühen von Dünnschichten verwendet werden.
650C Zwei-Zonen-CSS-Ofen für die schnelle thermische Verarbeitung OTF-1200X-RTP-II Verpackung
Unser 650C Two Zones CSS Furnace for Rapid Thermal Processing OTF-1200X-RTP-II wird während der Lagerung und des Transports sorgfältig behandelt, um die Qualität unseres Produkts in seinem ursprünglichen Zustand zu erhalten.
