IF5320 (Abgesetzt) 650C Zweizoniger CSS-Ofen für die schnelle thermische Verarbeitung OTF-1200X-RTP-II

Aufbau des Ofens und der Vakuumkammer

• Zwei Heizelemente, zwei Temperaturregler und Zwei-Kanal-Gasdurchflussmesser sind in einen mobilen Rahmen aus Aluminiumlegierung integriert.
• Die Kammer ist aus hochreinem Quarzglasrohr gefertigt
• Größe des Quarzrohrs: 11" OD/10.8" ID x 9" H
• Kohlefaserfilz als thermische Isolierung
• Die Vakuumflansche sind aus rostfreiem Stahl 316 gefertigt
• Gesamtabmessungen: 850(L)×745(B)×1615(H) mm

Vakuum-Flansche

• Der obere Flansch mit einem KFD-25-Vakuumanschluss und zwei Gasauslässen (1/4"-Rohr erforderlich) kann manuell nach oben oder unten geschoben werden, um Substrat und verdampftes Material leicht zu be- und entladen
• Der untere Flansch hat einen KFD-25-Vakuumanschluss mit zwei Gaseinlässen (1/4"-Rohr erforderlich) und Nadelventilen
• Der Flansch ist mit doppelten Silikon-O-Ringen abgedichtet und kann mit einer hochwertigen mechanischen Pumpe einen maximalen Vakuumdruck von 10E-2 Torr und mit einer Molekularpumpe von 10E-5 Torr erreichen
• Ein digitales Präzisionsvakuummeter mit Korrosionsschutz ist im Lieferumfang enthalten

Heizung und Probenhalterung

• Zwei kurzwellige IR-Lampen als Heizelemente für schnelles Aufheizen.
• Der Abstand zwischen zwei Heizern ist von 10 - 50 mm einstellbar
• Die Heizelemente sind aus rostfreiem Stahl mit einem wassergekühlten Mantel, um die Wärmeabstrahlung zu reduzieren und eine schnelle Abkühlung zu ermöglichen
• Ein runder 3"-Waferhalter ist in den oberen Heizer eingebaut, um das Substrat zu laden
• Eine hoch wärmeleitende AlN-Platte (3 "Dia x 0,5mm dick) ist im Lieferumfang enthalten, die auf die Rückseite des Substrats gelegt wird, um es gleichmäßig zu erwärmen
• Eine 3"-Graphitplatte kann alternativ für die AIN-Platte verwendet werden.
• Ein Ersatz für das Halogenlicht-Heizgerät ist gegen einen Aufpreis erhältlich.

Temperaturregler

• Zwei digitale Präzisions-Temperaturregler mit 30 programmierbaren Segmenten zur unabhängigen Steuerung der oberen und unteren Heizungen
• Jeder Regler verfügt über eine PID-Autotuning-Funktion, um die Heizelemente vor Überschwingen zu schützen, sowie über eine Alarmfunktion zur Vermeidung von Überhitzung und Unterbrechung der thermischen Kopplung
• PC-Kommunikationsschnittstelle und Software sind installiert

Arbeitstemperatur

• Höchsttemperatur für jede Heizung: ≤ 650℃
• Die maximale Temperaturdifferenz zwischen zwei Heizungen: ≤ 300℃, abhängig vom Abstand zwischen zwei Heizungen:

Aufheiz- und Abkühlrate

• Heizen: < 8℃/s (nur ein Heizgerät)
• Kühlen: < 10℃/s (600 - 100℃) Max.

Thermisches Paar

• Zwei Thermoelemente vom Typ K (freiliegend) werden separat an den oberen und unteren Heizelementen installiert.

Betriebsspannung

• 208 - 240VAC, einphasig, 20A Luftunterbrecher

Leistungsanforderung

• 2200 W insgesamt (1100 W für jede Heizung)

Garantie

• Ein Jahr beschränkt mit lebenslanger Unterstützung (Verbrauchsteile wie Quarzröhren und Heizlampen sind von der Garantie ausgeschlossen)

Konformität

• CE-zertifiziert