Vertikaler Vakuumofen 1100C mit Flansch VBF-1200X-V9 Beschreibung
DerVertikal-Vakuumofen 1100C mit Flansch ist ein vertikaler, vakuumdichter Ofen mit einer Quarzrohrkammer von Ø200×Ø190×H425 mm, komplett mit Flanschen und Ventilen aus Edelstahl. Dieser Ofen ist mit einer Torr-Turbopumpe ausgestattet, mit der ein Vakuum von 10^-5 Torr erreicht werden kann. Er ist für das Kalzinieren oder Ausglühen von Halbleiterwafern (bis zu 8 Zoll Durchmesser) konzipiert und kann unter Vakuum oder verschiedenen Gasatmosphären betrieben werden, wobei Temperaturen von bis zu 1100°C erreicht werden.
1100C Vertikaler Vakuumofen mit Flansch VBF-1200X-V9 Spezifikationen
Merkmale
|
- Hochreine Aluminiumoxid-Faserisolierung, die die Kammer umgibt
- Großer Rohrdurchmesser, hoher Vakuumgrad
|
Grundlegende Parameter
|
- Max. Heiztemperatur: 1100℃ (< 1h)
- Kontinuierliche Heiztemperatur: 1000°C
- Empfohlene Heizrate: 10°C /min
- Heizelement: Ni-Cr-Al Widerstandsdraht
- Thermoelement: Typ K
|
Leistung
|
220V AC, 3,5 KW, 50/60Hz
|
Quarzrohr & Effektive Heizung
|
- Rohrgröße: Ø200×Ø190×H425 mm
- Max. Belastung: 40Kg
- Heizfläche: Ø240×H245 mm
|
Vakuum-Flansch
|
- Edelstahl-Vakuumflansch mit zwei Hochtemperatur-Silikon-O-Ringen und Wasserkühlmantel
- Mechanisches Vakuummeter (als Standardzubehör enthalten) mit einem Messbereich von 10-2 Torr
|
Temperaturregelung
|
- NRTL-zertifizierter digitaler Temperaturregler ist im Lieferumfang enthalten
- Proportional-Integral-Differenzial-Regelung (PID-Regelung) und Auto-Tune-Funktion
- 50 Segmente mit Rampen-, Kühl- und Verweilstufen programmiert
- Eingebauter Übertemperaturalarm und Alarm bei Ausfall eines Thermoelements
- Temperaturregelungsgenauigkeit +/- 1 ºC
- THE Standard DB9 PC-Kommunikationsanschluss für den Anschluss an einen PC enthalten
- Eurotherm Temperaturregler ist gegen Aufpreis mit einer Genauigkeit von +/-0,1°C erhältlich
|
Gesamtabmessungen
|
500mm L * 530mm B * 880 mm H
|
Nettogewicht
|
70 kg
|
Garantie
|
- Ein Jahr beschränkte Garantie mit lebenslangem Support.
- ACHTUNG: Schäden, die durch die Verwendung von ätzenden und säurehaltigen Gasen verursacht werden, fallen nicht unter die einjährige eingeschränkte SAM-Garantie.
|
Bescheinigung
|
- CE-zertifiziert
- Eine NRTL- oder CSA-Zertifizierung ist gegen Aufpreis erhältlich.
|
Vertikaler Vakuumofen 1100C mit Flansch VBF-1200X-V9 Anwendungen
- Materialwissenschaft und Technik: Für die Synthese, das Glühen und die Wärmebehandlung von Hochleistungswerkstoffen wie Keramik, Metallen und Verbundwerkstoffen. Er ermöglicht eine präzise Kontrolle der Mikrostruktur und der Eigenschaften von Materialien für Forschungs- und Entwicklungszwecke.
- Halbleiterverarbeitung: Wird für die Herstellung und Verarbeitung von Halbleiterbauelementen eingesetzt, einschließlich Glühen, Oxidation, Diffusion und Abscheidungsprozesse. Sie gewährleistet die Reinheit und Integrität von Halbleitermaterialien, indem sie in einer sauberen Hochvakuumumgebung arbeitet.
- Elektronikfertigung: Wird für die Herstellung von elektronischen Komponenten und Geräten verwendet, einschließlich des Ausglühens von Halbleiterscheiben, der Herstellung von Dünnschichttransistoren und der Verpackungsprozesse.
- Herstellung von Solarzellen: Einsatz bei der Herstellung von Solarzellen und photovoltaischen Geräten, einschließlich Glüh- und Dotierverfahren zur Optimierung der Leistung und Effizienz von Solarzellenmaterialien.
Vertikaler Vakuumofen 1100C mit Flansch VBF-1200X-V9 Verpackung
Unser 1100C Vertikal-Vakuumofen mit Flansch VBF-1200X-V9 wird während der Lagerung und des Transports sorgfältig behandelt, um die Qualität unseres Produkts in seinem ursprünglichen Zustand zu erhalten.