Vertikalofen 1100C KSL-1100X-L-VT Beschreibung
DerVertikalofen 1100C ist ein vertikaler vakuumdichter Ofen mit einer Quarzrohrkammer von Ø200×Ø190×H425 mm, komplett mit Flanschen und Ventilen aus Edelstahl. Dieser Ofen ist mit einer Torr-Turbopumpe ausgestattet, mit der ein Vakuum von 10^-5 Torr erreicht werden kann. Er ist für das Kalzinieren oder Ausglühen von Halbleiterscheiben (bis zu 8 Zoll Durchmesser) konzipiert und kann unter Vakuum oder verschiedenen Gasatmosphären betrieben werden, wobei Temperaturen bis zu 1100°C erreicht werden.
1100C Vertikalofen KSL-1100X-L-VT Spezifikationen
Merkmale
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- Isolierung aus hochreinen Aluminiumoxidfasern, die die Kammer umgibt
- Drei Seiten des Ofens sind beheizt, mit schneller Heizrate und gleichmäßigem Temperaturfeld.
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Grundlegende Parameter
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- Max. Heiztemperatur: 1100℃ (< 1h)
- Kontinuierliche Heiztemperatur: 1000°C
- Empfohlene Heizrate: 10°C /min
- Heizelement: Ni-Cr-Al Widerstandsdraht
- Thermoelement: Typ K
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Leistung
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220V AC, 7,5 KW, 50Hz
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Temperaturregelung
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- NRTL-zertifizierter digitaler Temperaturregler ist im Lieferumfang enthalten
- Proportional-Integral-Differenzial-Regelung (PID-Regelung) und Auto-Tune-Funktion
- 50 Segmente mit Rampen-, Kühl- und Verweilstufen programmiert
- Eingebauter Übertemperaturalarm und Alarm bei Ausfall eines Thermoelements
- Temperaturregelungsgenauigkeit +/- 1 ºC
- THE Standard DB9 PC-Kommunikationsanschluss für den Anschluss an einen PC enthalten
- Eurotherm Temperaturregler ist gegen Aufpreis mit einer Genauigkeit von +/-0,1°C erhältlich
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Gesamtabmessungen
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980mm L * 730mm B * 880 mm H
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Nettogewicht
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125 kg
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Garantie
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- Ein Jahr beschränkte Garantie mit lebenslangem Support.
- ACHTUNG: Schäden, die durch die Verwendung von ätzenden und säurehaltigen Gasen verursacht werden, fallen nicht unter die einjährige eingeschränkte SAM-Garantie.
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Bescheinigung
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- CE-zertifiziert
- Eine NRTL- oder CSA-Zertifizierung ist gegen Aufpreis erhältlich.
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Vertikalofen 1100C KSL-1100X-L-VT Anwendungen
- Halbleiterherstellung: Für die Herstellung von Halbleiterbauteilen wie Siliziumwafern, MEMS (Mikro-Elektro-Mechanische Systeme) und Photovoltaikzellen. Vertikale Öfen werden für Prozesse wie Oxidation, Diffusion, LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) und Ausglühen eingesetzt.
- Dünnschichtabscheidung: Wird für die Abscheidung dünner Schichten auf Substraten mit Techniken wie CVD (Chemical Vapor Deposition), PVD (Physical Vapor Deposition) und ALD (Atomic Layer Deposition) verwendet. Vertikale Öfen bieten eine kontrollierte Umgebung für eine präzise Kontrolle der Schichtdicke und -zusammensetzung.
- Herstellung von Solarzellen: Anwendung bei der Herstellung von Solarzellen und Photovoltaikmodulen. Vertikalöfen werden für Prozesse wie Diffusion, Abscheidung von Antireflexionsschichten und Metallisierung verwendet, um die Effizienz und Leistung von Solarzellen zu verbessern.
Vertikalofen 1100C KSL-1100X-L-VT Verpackung
Unser 1100C-Vertikalofen KSL-1100X-L-VT wird während der Lagerung und des Transports sorgfältig behandelt, um die Qualität unseres Produkts in seinem ursprünglichen Zustand zu erhalten.