Epitaxie-Wafer SiC-GaN EPI Beschreibung
Epitaxie-Wafer (EPI) ist eine Halbleiter-Dünnschicht, die auf einem Substrat aufgewachsen ist. Die Dünnschicht besteht hauptsächlich aus P-Typ, Quantentopf und N-Typ. Das gängige Epitaxiematerial ist Galliumnitrid (GaN), und die wichtigsten Substratmaterialien sind Saphir, Silizium und Siliziumkarbid.
Derzeit können gewöhnliche Epitaxieschichten, Epitaxieschichten mit Mehrschichtstruktur, Epitaxieschichten mit ultrahohem Widerstand und ultradicke Epitaxieschichten auf Siliziumsubstraten verwendet werden. Der spezifische Widerstand der Epitaxieschichten kann mehr als tausend Ohm erreichen. Die Leitfähigkeitstypen sind P/P++, N/ N++, N/N+, N/N+/N++, N/P/P, P/N/N+ und viele andere Typen.
Epitaxie-Wafer SiC-GaN EPI Spezifikationen
Wafer-Durchmesser
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4"
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5"
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6"
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8"
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EPI-Schicht
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Dotierstoff
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Bor, Phos, Arsen
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Ausrichtung
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<100>, <111>
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Art der Leitfähigkeit
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P/P++, N/N++, N/N+, N/N+/N++, N/P/P, P/N/N+
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Widerstandswert
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0,001-50 Ohm-cm
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Res. Gleichmäßigkeit
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Standard <6%, maximale Möglichkeiten <2%
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Dicke (um)
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0.1-100
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Dicke Gleichmäßigkeit
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Standard <3%, Maximale Möglichkeiten <1%
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Untergrund
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Ausrichtung
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<100>, <111>
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Leitfähigkeitstyp/Dotierstoff
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P-Typ/Bor, N-Typ/Phos, N-Typ/As, N-Typ/Sb
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Schichtdicke (um)
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300-725
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Widerstandswert
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0,001-100 Ohm-cm
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Zustand der Oberfläche
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P/P, P/E
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Partikel
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<50@.0.5um
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Epitaxiewafer SiC-GaN EPI Anwendungen
Epitaxiewafer aus Silizium sind das Kernmaterial für die Herstellung einer breiten Palette von Halbleiterbauelementen und werden in der Industrie-, Militär- und Raumfahrtelektronik verwendet.
Epitaxie-Wafer SiC-GaN EPI-Verpackung
Unsere Epitaxie-Wafer SiC-GaN EPI werden während der Lagerung und des Transports sorgfältig behandelt, um die Qualität unseres Produkts in seinem ursprünglichen Zustand zu erhalten.